藍河科技最基礎的部署戰略已走出第一步, 一條攻破高階國產光刻機技術的科技鏈已雛形，接下來的技術攻破才重中之重的難點。
盛明安和沈問冰談完具體的細節以及一些arf光刻膠技術難點的後，離開甬城, 回到津市, 而沈問冰就arf光刻膠及配套材料研發項目收集資料，準備申請立項, 估計通過e率很高。
高端光刻膠及配套材料的研發和產業化本來就在國家02專項項目里，按前世軌跡, arf光刻膠（193nm光刻膠）將在年後由南大光電申請通過立項, 獲得國家科研基金資助，于立項後的兩年內完成驗收。
現在盛明安介入, 也只提前讓arf光刻膠被研發出來，研發團隊和專項所屬權仍然屬于原主。
盛明安完成初步戰略部署後, 馬停蹄趕回藍河科技研發部準備光源系統的研發，e乎沒停下來喘口氣的機會。
只他，整藍河科技所人都像陀螺似的忙得暈頭轉向。
系統好奇盛明安為什自己獨立攻破光刻機所核心技術？
他前世的記憶，他熟知光刻機e十上百項核心技術，足以輕而易舉的攻破, 而必像現在這樣全國四處尋找科研團隊, 費盡口舌說服他們跟藍河科技合作。
如盛明安一人研發出光刻機, 所專利都將屬于他。
專利帶來的財富和名譽源源斷，國內任何一家科技公司想為他生產制造光刻機的材料譬如晶圓、光刻膠或者雙工作台, 都得花錢從他手中買下生產這些材料的專利費用，更別提之後完成的高階光刻機。
甚至他能夠直接畢業, 學校為他開綠燈，說定還會給他一國家院士和名譽教授。
這真開玩的！
光刻機的地位就如此重要！
而且只要盛明安攻破這些技術難題，再交由藍河科技研發部完善, 他們也用跟著他這大費周章的為革芯的未來鋪路。
系統很好奇，于這問出口。
盛明安正在設計復雜的光源系統，聞言愣下，回頭眼身後忙碌的團隊。
右手邊的助手戴眼鏡的年輕姑娘，注意到盛明安的目光便輕聲問︰「老板，您想來杯黑咖啡嗎？」
姑娘剛走出學校的實驗室沒多久，還習慣喊團隊領導‘老板’。
盛明安︰「倒點濃茶就。」
姑娘起身，拿起他桌邊的杯子就去倒茶水。
系統︰【宿主，我問你。】
盛明安揉著太陽穴，感覺草稿本的字點花，知道太疲憊還近視的風險，他前世長期伏案寫算此輕度近視。
‘嗯。’
系統催促︰【宿主？】
盛明安思索片刻，在姑娘倒濃茶過來輕聲回謝謝，便在腦海里回答系統︰‘我的東西。’
就很簡單的理由，那他的東西，就算前世學過的那些攻破技術難點的知識現在屬于他，可被創造出來的技術屬于他。
而光刻機固然重要，卻到火燒眉頭的地步，需要搶奪原該屬于他人的運道。
他說︰‘為什問我這問題？’
系統︰【為我理解。】
盛明安︰‘你該比我更解嗎？’
系統︰【？】
盛明安︰‘你沒發現？黑科技程序給出的每一道關卡，似未來的黑科技，實則基礎建立在過去物理偉人的理論和發現，只過程序將它們歸納起來激發我的靈感。’
連續破解兩道關卡後，盛明安才透黑科技程序的套路，無論關卡還所謂獎勵要只告訴他一道答案本來就必然的結，要給似而非的所謂提醒，他再根據這些已的提醒和前人的結論斷深思、追尋和解鎖，才得出屬于他的成。
盛明安知道前世沒他，除光刻機之外，量子糾錯的算、拍瓦級激光系統方案究竟會誰解決。
他些好奇，于問出來。
系統︰【……知道。】
盛明安︰‘？’
系統︰【記錄被銷毀。】
盛明安︰‘記錄沒銷毀前，你也知道？’
系統︰【記得。】
系統也發現問題，它啟動自檢程序，從外到內全面搜索。
盛明安喝杯濃茶，眼中若所思。
***
藍河科技的每人都很忙，研發部更忙得腳沾地，作為研發部副部長的計海為被策反而當商業間-諜，人生頭一次這積極來上班，卻也每天都在辦公室里喝茶報。
偶然一天發現研發部突然忙碌起來，計海警覺，以為新動作，趕緊喊杜頌來問話︰「研發部什新突破？姓陳的小子和他那小白臉情夫最近忙什？」
上次塞給杜頌一張存十萬的銀-卡，杜頌沒還回來，計海默認他自己人，這會問話毫無顧忌。
杜頌想起陳驚璆的叮囑，如計海問話就透露點消息，讓他帶給鄭河。
「研發部在盛神帶領下準備攻破光源系統的核心技術問題，項目已經開啟。」杜頌如實說︰「林工忙著帶領團隊設計芯片，至于陳總，好像在洽談合作、投資之類的。」
計海點懵，這說跟沒說區別？
「度呢？」
「什度？」
「核心技術？合作投資的項目？！」
「那我哪知道！」
「你——！」
計海覺得自己該找杜頌這蠢貨，他忍下怒氣小聲勸說︰「我跟鴻芯那邊說，人家表示很歡迎技術人才。你要想通，帶點研發部那邊的資料去見鄭總。」
杜頌含糊︰「我再想想。」
計海心里想別的，沒多勸，擺手讓他出去，回頭翹班去找鄭河將杜頌提供的情-報交過去，換來鄭河的冷。
「藍河科技一直雙擔ic設計和光刻機的光源系統制造，業界內都知道的消息！林成建的身份，我早查清！陳驚璆四處拉投資、找合作，到處踫壁，你以為我知道？！」鄭河些憤怒︰「你耍我？！」
計海擦著額頭冒出的冷汗，慌亂否認︰「……」
鄭河重重冷哼，審度計海的目光如刀片般，似乎對計海的才能產生懷疑︰「那些科研成真你的？」
計海連連點頭︰「當然都我的！鄭總，您說我一搞科研的，怎做得來內-應這種事？」
如科研人員大多非長袖善舞，鄭河早踹開計海。
「雖然你搜來的消息都沒用，過這也說明藍河科技最近確實處境艱難。」鄭河臉色緩和些，冷著說︰「藍河科技拉到投資，革芯項目沒人好，陳驚璆居然想辦解決迫在眉睫的資金問題，而跑去各研究團隊找他們合作攻破光刻機技術！」
「哈哈哈哈……」鄭河搖頭，上下搖晃著食指嘲諷︰「蠢！天真！然還太年輕！技術核心沒錯，但這做就緣木求魚！」
攻破核心技術哪那容易？
那些科研團隊從立項到拿到資金再到解決關鍵技術問題並實現產業化，可都一朝一夕的事！
陳驚璆以為就他聰明、就他們想到這聯合技術鏈的辦？
單說那光刻機雙工作台的核心技術，11年獲得國家02專項立項至今，思念過去還沒出結。
技術攻破首要資金，沒資金學人開什公司？做什技術開發？
憑那點天真熱血的沖動想而忽略腳下牢靠的基石，太蠢。
鄭河如冷漠傲慢的想著，打發走計海，將消息簡單匯報給陳天鶴。
陳天鶴正從私人專機上下來，落到美國的土地上。
「陳驚璆的事以後用跟我說。」陳天鶴冷漠的說。
他抬頭觀這座燈火通明的城市——
加利福尼亞州聖迭戈市，高通總部。
陳天鶴此的目的。
***
光源系統光刻機制造的核心，晶圓光刻工程的起始步，與光刻工程後續每一步息息關。
光源系統主要大單元光的產生、收集和均一化，初光刻機的光源系統還包括光的純化，但第四、第五的激光器產生的光源已經達到要求，只需要讓光均勻化就。
光雕刻的工具，由激光器產生，涉及項技術指標即光刻分辨率、套刻精度和產能。
光刻分辨率一道計算公式，照公式調整影響數從而提高光刻分辨率，這方面難度大，但受掩膜設計、抗蝕劑工藝等牽制，必須同達到最佳化才能實現理想的光刻分辨率。
套刻精度與光刻分辨率關，直接受其影響。
至于產能，則與光源系統的穩定關。
以上對激光器的要求，對整光源系統的技術要求算高，系統工程程序中最難的步驟光的收集。
收集難度大，轉化效率也低。
雷客坐在電腦前，操縱鼠標在軟件里做精密的計算︰「所需的極紫外光必須在真空下反射，能被折射，為它非常容易被吸收。真空腔內的反射鏡需要特殊鍍膜，把這束光，從光源一路引導到晶圓……經過十e次反射，最終剩下的光線到2%！」
圍觀過來的研發部成員倒吸一口涼氣，雖早知光源轉化率低，但到這數字還低得讓他們心疼。
光源轉化率低就意味著能量的巨大消耗，最直觀的例子，一台euv機器輸出功率兩百瓦左右，工作一天，耗電萬度。
光線利用率到2%已經優化其他性能所能夠得到的最佳數據，決定該性能優化的決定性關鍵就反射鏡的精度。
「精度必須以皮秒來計算。」
換句話說，光刻機所需的反射鏡精度必須打磨到萬億分之一米。
盛明安︰「用 和鉬反復鍍膜，直到光線利用率達到國際標準。」
當下人反駁︰「都納米級鍍膜，反復鍍膜也會影響精度，工藝太難！」
難度多大？
最淺顯易懂的比喻便將一面直徑超過四十厘米的反射鏡放大至覆蓋地面，其平面起伏能超過一根頭發的直徑。
而光刻機所需的反射鏡多達四五十層，平面精度一層比一層要求更平整。
全球只德國蔡司這家傳承以上的企業才造得出這種反射鏡。
當然，反射鏡對華出口。
盛明安︰「用擔憂反射鏡能能被打磨出來，你們只需要盡己所能考慮反射鏡在光的收集和轉化率這一單元里，能夠被如何利用到極致。」
「數據、模型，管失敗成功，統統記錄下來。」
盛明安語速打機關-槍似的，斬釘截鐵、容置喙，仿佛難度高到爆表的光源系統在他眼里層次分明、井然序，所的技術難點都可以被輕松解決。
他胸成竹，心溝壑。
他必開口安慰，只要用平淡輕松的口氣下達每一道指令就能安定實驗室每人退怯、自信的心。
「杜頌，打開你的delica先初步的超精密激光器建模仿真。」
delica一款可實現復雜的物理系統仿真建模的計算機語言軟件，可用于光刻機某些超精密部件的仿真建模。
杜頌︰「已在創建。」
他領著自己小組成員低頭忙碌。
「雷客，你調整一下光路結構。」
「好。」雷客示意助手打開opc（光學鄰近矯正）軟件，通過模型動態仿真結計算查找表修正光與圖案。
盛明安匍匐在桌案，設計市場需求的激光光源，就目前的技術發展而言，光刻機激光光源仍以激光等離子體為主。
驅動光源產生的碎屑數量，光譜純度，每提高一技術節點消耗的功率和產能……其實日前最先的euv，其功率消耗大、產能低，再過五六年也未能完美解決這兩問題。
可盛明安清楚。
他雖願用前世記憶盜竊他人成提前制造出國產光刻機，可前世他完美解決euv產能低的問題，此習慣性順手將這難題歸入待解決列表之一。
以至于後來一舉攻破該技術節點實現反超asml目標，實屬意料之外。
***
15年5月份左右，國際半導體發生一件大事。
asml官網對外發布突破光刻機量產瓶頸，正式對外售出可量產14nm極紫外光刻機！
此舉瞬間激起千層浪，全球各界媒體報道休，半導體發燒友熱鬧得跟過年一樣紛紛發表討論。國內貼吧、技術論壇和逼乎新帖斷，基本都討論asml這一舉措將帶來怎的影響。
【光刻巨人︰asml真正的崛起！】
國內科技網對asml的新聞標題被搬到國內電子發燒友論壇，論壇主搬來這標題就已經表明他對未來全球半導體地位的劃分認可。
【如標題所說，從今以後，asml唯一的光刻巨人！】
【佳能、尼康的消失，光刻機百花齊放共競爭的一去復返，將來只asml一騎絕塵的身影！】
【雖然想承認，但歐美又在一重要的領域里實現科技霸權！】
【諸位，配合英特爾、高通今年年初發布的將于15年實現14nm核心處理器、年末實現10nm核心處理器的新聞發布會食用，而國產光刻機還停留在365nm光波長的第光刻機技術節點！】
【拉開兩，落後二十年。】
【華國被死死扼住半導體產業的喉嚨……】
【感到窒息。】
另一貼沒這喪氣，但基本在吹asml，回顧asml的歷程，曾經也過半生死的小公司……
【誰還能記得曾經的asml瀕臨倒閉？】
【那候的尼康和佳能才霸權半導體領域的大佬，可惜封殺台積電林大佬的浸潤技術emmmm結最後被asml撿漏。】
【asml的崛起之路從這一步開始[滑稽]。】
【命運真奇妙，誰能料到最後會名見經傳的阿斯麥爾搶先一步研發出第五光刻機？】
【小聲插一句，我國機會研發14nm光刻機嗎？】
【？？asml肯賣給我們一台euv就偷，還自主研發？做夢呢！】
【肯定告訴你︰！二十年後！】
【過那候的半導體可能已經發生翻天覆地的變化，摩爾定律失效，現的光刻機技術臻至極限再寸，或許出現新的機器替光刻機，量子定律取摩爾定律……我們再次被甩開二十年。】
【也必這悲觀，或許二十年後，華國光刻機技術實現超英趕美。】
【摩爾定律沒那輕易被取，你以為重新誕生一定律很容易？】
【盛神解決量子糾錯的難題嗎？很多人深受鼓舞，投入量子課題研究。只要某領域天才成群結隊而來，天大的難題被解決也只間的問題。】
……
【怎跑題？】
【說回正題，祈禱美帝會一我們爽就對我們實芯片制裁吧。】
【什意思？】
【asml控股大頭美帝公司！】
藍河科技。
林成建步伐匆匆入研發部的休息室，室內盛明安和陳驚璆都在，還雷客、杜頌等人，他們一邊吃中午飯一邊繼續商討研究項目。
「到最新消息沒？」
盛明安︰「asml euv發布會。」
「對！」林成建坐下來擦汗，接過雷客倒來的水說︰「現在全球訂單飛向asml，一台售價1.2億美金，訂單排到18年。」
光刻機工藝復雜，就算asml一年也只能造出十e台。
「華芯的人也去下訂單。」
杜頌急問︰「怎樣？」
盛明安用問也知道結，陳驚璆則安靜的挑出碗里的辣子雞塊規整放到一旁的飯盒蓋上，然後推給盛明安。
陳驚璆︰「我吃辣。」
盛明安抬眼，掃眼他那碗e乎沒動過的辣子雞，信。
辣子味道又香又麻嗆喉嚨，雞肉女敕滑多汁，吸收辣子的香味，吃起來很刺激舌尖。
盛明安很喜歡，他說︰「謝謝。」
陳驚璆著他。
對面一姑娘來回兩人，心想盛神跟老板太基吧。
林成建︰「被拒絕。」
杜頌︰「⺪！」
其他人心情激憤卻也無可奈何，誰讓他們的技術就落後人家十e二十年？
落後活該挨打唄。
歐美各國遵守的《瓦森納協議》就專門針對禁止對華輸入高階精密科學儀器和技術，asml敢違背協議，自然拒絕對華銷售euv。
沒euv，他們還得從台積電，從英特爾、高通等美帝企業那兒購買芯片，巴巴送錢過去人臉色。
休息室眾人情緒低沉，盛明安察覺到，自顧自吃飯，吃完就拿起手邊的熱水慢吞吞喝兩口解膩，渾身通透的舒服。
作者有話要說︰ 光刻機是真的難啊，太難了。
連概括它的技術難點都概括不過來的困難，從頭到腳就一個字︰難！