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第一一一六章 不同意

GCA當時投入研發EUV技術項目的3000萬美元經費,可以收購ASML40%的股權,不是一筆小數目!

GCA當時賬上的現金流只剩下300多萬美元,公司要花錢的地方多的是。

孫健前世在互聯網上看過不少有關ASML EUV光刻機的文章,作者紛紛感嘆研發和生產EUV光刻機之難難于上青天,被稱為外星人的科技水準,是迄今為止人類科技領域所能達到的最尖端技術,沒有之一。

為了打破封鎖,投入巨資,舉國之力也沒有看見成果。

前世90年代末,干式193nm波長光刻機遇到了65nm制程工藝的極限,再往下就寸步難行,如何跨入40nm制程工藝?成為阻擋所有光刻機等半導體廠商的世界性難題,科學家和產業界提出了各種超越193nm波長的方案,其中包括157nm F2激光,電子束投射(EPL),離子投射(IPL)、EUV(13.5nm)和X光等。

相對而言,157nm F2激光的技術難度稍低,不少公司開始下注157nm F2激光,其中尼康和SVG在這個技術路線走的最遠,是最接近商業化量產的兩家公司。

幾年後,ASML收購了SVG,也擁有了157nmF2激光技術,又砸下數億美元進行研發,此外ASML也還嘗試開發EUV光刻機。

財大氣粗的英特爾一開始就傾向于激進的EUV(13.5nm)方案,希望徹底解決光刻機的波長世界性難題,集中全球頂尖科技精英一起愚公移山,他們說服對高科技開明的克林頓內閣,發起成立了EUV LLC(EUV有限責任公司)。

EUV LLC由英特爾和美國能源部牽頭,集中了當時如日中天的摩托羅拉、IBM和AMD,以及享有盛譽的美國三大國家實驗室︰勞倫斯利弗莫爾實驗室、勞倫斯伯克利實驗室和桑迪亞國家實驗室,集中數百位世界頂尖科學家,投資2億美元研發經費,從理論上驗證 EUV可能存在的技術問題。

英特爾當時打算邀請光刻機行業第一、第二位的Nikon和ASML加入EUV LLC,但美國政府擔心最前沿的光刻機技術落入外國公司手中,反對Nikon和ASML加入。

ASML為了表現誠意,同意在美國建立一所工廠和一個研發中心,以此滿足所有美國本土的產能需求,另外,還保證55%的零部件均從美國供應商處采購,並接受定期審查,做出多項讓步後,最後成功加入EUV LLC,能夠享受其基礎研究成果,Nikon卻沒有機會加入,失去了同ASML競爭的機會。

幾年之後,終于論證了EUV的可行性,于是EUV LLC的使命完成,公司解散,各個成員踏上獨自研發之路。

ASML加入EUV LLC後,享受到的研究成果大大加快了其EUV的研發進度,2005年摩爾定律陷入停滯,極紫外光刻技術被認為是制程突破10nm制程工藝的關鍵,但由于EUV光刻機幾乎逼近物理學、材料學以及精密制造的極限,光源功率要求極高,透鏡和反射鏡系統也極致精密,還需要真空環境,配套的抗蝕劑和防護膜的良品率也不高,別說是對日本與荷蘭,就算是科技全球第一的美國,舉國之力獨自突破這項世界最尖端的技術,也是痴人說夢。

由于技術難度極高,需要巨額的研發資金,尼康和佳能只得選擇放棄,徹底淪為中低端光刻機廠商。

ASML成為唯一的候選人!

ASML以23%的股權得到英特爾、三星和台積電的53億歐元的研發EUV光刻機的資金,而這三家客戶也因此獲得優先供貨權。

ASML也成為美國大財團控股的荷蘭高科技公司!

從1997年,英特爾和美國能源部牽頭成立EUV LLC開始,到孫健重生前的2017年,ASML才成功量產第一台EUV光刻機,集中全球物理學、材料學和精密制造極限的技術成果,還用了整整20年的時間!

EUV光刻機研制成功之難難于上青山不是一句調侃!

孫健預測再投入1億美元,湯普森團隊就是能研究成功EUV,在EUV光刻機這種人類技術最復雜的宏偉工程面前,GCA即使耗費幾十億美元的研發經費,也不可能獨自生產成功,要集中全球最頂尖的物理學、材料學和精密制造等科技成果,也只有美國才有這樣的組織能力。

GCA生產高端光刻機,BSEC生產中低端光刻機,這是收購GCA時,孫健給兩家公司的定位,不以他的意志為轉移。

GCA重獲新生,ASML將失去進入EUV LLC的機會,ASML獨自研制成功EUV光刻機如同痴人說夢話,BSEC也不能!

蘇聯解體後,以俄羅斯為首的東歐國家已經倒向西方陣營,同我們友好的國家,其經濟和科技實力都不強,在如今的科技和經濟條件下,舉國之力,BSEC研制EUV光刻機,沒有20年,也看不到成果。

重生者又不是神仙!

在美國政府和高科技公司的技術和資金支持下,全球只有GCA才有可能研制成功EUV光刻機,不然,耗費的研發資金就有可能拖垮GCA。

GCA終歸是美國半導體設備生產的高科技公司,一旦中美交E,美國政府會以國家安全為由收回TIC持有的GCA股權,除非加入美籍,孫健早有心理準備,到時,出售GTER或IBM,收回幾十億美元的投資應該問題不大。

美國人的鍥約精神只有公知才相信!

GCA研發成功EUV光刻機耗時越長,對BSEC越有利,一旦浸沒式光刻機在EUV光刻機之前研制成功,BSEC將成為光刻機行業的一匹黑馬!

BSEC才是孫健需要真正關心的孩子,但要養大這個孩子也不容易——

「董事長,我從一個在商務部工作的朋友那里得到確鑿消息,如今TH關系緊張,商務部出口管制委員會不同意公司出口250nm制程工藝的半導體生產線給PGCA的申請,除非克林頓總體出面授權!」

三天後,艾德里安向孫健匯報,一臉的遺憾,希望孫健直接找克林頓總統。

「艾德里安先生辛苦了,我明天回國。」

孫健早就料到這個結果,不是十分遺憾,他不會為了GCA和PGCA的利益,前往總統府,請求克林頓給GCA和PGCA一個機會,在如今TH關系緊張的敏感時期,即使成功,一旦被有心人利用,傳到國內互聯網上,卑躬屈膝,漢奸,奴才……

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