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第七百二十七章 問題到底出在哪里 【求訂閱】

「老萬,你怎麼看?」許振鳴卻沒直接回答郝寧教授,反而站起身來問萬寧古。

萬寧古此時正用一塊碎布擦著手上的污漬,臉上的露出猶豫不決的表情。

他有點相信梁宋松的判斷,認為沒有必要再做兩遍激光光路系統的測試。但這種連續做三遍激光能量測試的計劃是原先預定好的,現在立即推翻的確有些過分。

更何況郝寧教授是團隊里精通光學的專家,制定的計劃肯定科學。他們這些外行人怎麼能隨便瞎指揮。

想到這里,他朝許振鳴苦笑道︰「許董,我認為郝寧教授是專業人士,制定的計劃應該非常專業,咱們還是按照預定好的計劃來執行。」

「好!我跟你的意見一致,專業的事情應該交給專業的人去處理。」許振鳴笑道,順手接過萬古寧遞來的碎布團。他一錘定音,解決了郝寧團隊和梁宋松的意見分歧。

事實上,按照許振鳴的想法,他本來不便參與這種高精技術項目的決策。但郝寧教授現在要做的是重復兩次測試,頂多浪費一些時間和鈔票。許振鳴承受的起,一鳴集團也不缺這點資源。

更何況,郝寧教授應該不會無的放矢,有自己專業技術方面的考慮才是。

一念至此,許振鳴朝郝寧教授一揮手,「郝教授,你們團隊的測試流程都要按照預定好計劃來執行,不要怕花錢,我們集團公司做項目是不怕花錢的。」

「好的許董。」郝寧教授微笑著點點頭,開始忙碌起來。

而作為項目小組的負責人,梁宋松此時有點尷尬,心里更是很難受,「這幫土包子不听老人言,吃虧就在眼前吶。」

梁宋松沒說話,站在那里一會兒看看郝寧教授團隊的操作情況,一會兒又看看萬寧古這幫人的測試流程。

這時。

萬寧古的團隊成員們已經把光刻機主機系統接上各種測試儀器,要立即再次檢測這台主機系統的重復精度、運動精度、震動量數據、功率輸出數據、運行過程中的功率變化數據、電磁雜波數據等等。

這套實驗測試流程,也是剛才再三討論過的檢測技術方案。主要目的還是要看一看這台國產光刻機主機系統的各項數據,跟以前的測試報告有沒有發生變化。

倘若沒有發生變化,那就有點麻煩嘍!

作為一鳴集團公司的重點項目,這台國產光刻機的主機系統總裝調試完成以後,其實已經測試過很多次。倘若數據不過關,項目負責人胡明鎮是不會立即做光刻機總調試驗的。

但今天上午的光刻試驗中出現光刻質量缺陷,這台設備若沒出現問題,邏輯上怎麼也解釋不清楚。

帶著這種疑問,萬寧古陪著許振鳴來到光刻機主機系統檢測調試工作站的旁邊,兩眼一直盯著工作站的監視器屏幕。

時間不久,他擔心的事情出現了……

當這台光刻機主機系統完成一次模擬光刻執行程序以後,監視器顯示的各項數據都很正常,精度誤差都在許可的範圍之內。

「報告許董,主機系統重復精度小于0.001毫米,數據正常。」

「報告萬總,主機系統的震動量誤差都在量級以內,不會對光刻程序造成影響。」

「報告萬總,主機系統的功率輸出一直都非常穩定,模擬光刻過程中沒有出現波動現象。」

「這台設備的電磁雜波強度都在量級要求範圍之內,沒有出現異常情況。」

「……」

技術員們非常專注,每出現一個數據就會把情況如實匯報。

通過他們一番比對下來,這台光刻機主體系統的數據和原始測試數據沒發生變化。這事有點蹊蹺了!

另一邊,郝寧教授的團隊已經完成了激光光源的能量測試流程,一切也正常。

不但如此,他們已經完成了第一遍激光光源的光譜測試,激光在空氣中的散光度誤差很小,在正常範圍之內。

由此看來,米國佬的這台激光光源系統沒有質量問題,性能非常穩定。

看到這一幕,梁宋松也有點傻眼了,「兩套系統單體測試都很正常,組裝總成以後出現質量缺陷。這是什麼鬼情況?」

「這…這事有點邪門啊!」萬寧古此時也有點懵,兩手一攤,看著許振鳴苦笑,並且直搖頭。

今天中午飯的時候,他得到梁宋松的提醒,靈感咋現,其實已經初步判斷出這台光刻機的故障所在。按照他的設想,米國產的激光光路系統肯定沒問題,國產的光刻機主體系統肯定有問題。

但現在一番檢測下來,這兩台設備的情況都很正常,問題到底在哪里?

「兩台設備單體都正常,組裝在一起就不正常。在組裝的時候,我們做過哪些改動程序?」

這時,許振鳴慢慢的蹲子,目光落在光刻機主體系統的接駁機構處。他的意思很明確,就是這個接駁機構出了問題。

「想想也是,我覺得應該是兩台設備的接駁組裝機構出了故障。」郝寧教授朝許振鳴這邊看了過來,說出自己的猜想。

「不可能!我們這台光刻機的接駁機構是用集團公司最先進的加工中心制造的,加工精度能保證。」萬寧古一邊說話,一邊也跟著半蹲了下來。

這時候,梁宋松有點鉲uo碌摹3 謐孕牛??嬋誥頭穸?送蚰?諾吶卸希?霸趺床豢贍埽課頤羌?毆?鏡幕?抵圃燜?揭?讓墜?脅盍肆醬?笥遙?庸キ?仍趺茨鼙U希懇牢銥矗?褪欽  飪袒?魈逑低車慕硬禱?褂形侍狻!包br />

「咱們不能隨便亂說,要用實驗數據來說話。」萬寧古不認輸,用手指模了模主機系統的接駁機構,感受一下接駁機構的加工面。

這組接駁機構的加工面非常光滑,曲線度、光滑度通過目測應該找不出故障。

所以,許振鳴根本沒準備用手指去體驗這種異型的接駁機構。他觀察了一下,然後側過臉來問萬寧古︰「老萬,咱們可不可以用分開的模式來做光刻試驗?」

萬寧古聞言搖搖頭,「光刻機是精密設備,兩套系統一定要組裝在一起工作才行。否則,光刻流片的精度無法保障。」

按照他的意思,土辦法是解決不了目前的測試困境,這事有點難辦了。

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