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第七百二十三章 第一步 【求訂閱】

「許董,按照目前的情況來看,我們集團公司生產的激光光路系統應該能跟老外的光刻機配套。」胡明鎮只有九層把握,並沒有把情況說死。他還是有點擔心這套激光光路系統不能提供精準的激光光源。

光刻機的原理和照相機的原理基本一樣,都是用曝光來成像。但第三代光刻機的精度非常高,最低可達到0.018微米。倘若再使用Fi制程技術和浸潤式光刻制程技術,精度要達到0.01微米以下。

由此可以想到,第三代光刻機對激光光源的功率、穩定性的要求肯定非常高,一般的國家不能生產這種尖端設備。這也是胡明鎮所擔心的事情。

胡明鎮一邊說話,一邊指揮著李全等人怎麼組裝激光發生器、光學儀器、光學鏡頭等精密設備。這套裝配流程非常重要,能直接影響到激光光路系統的精度和可靠性,胡明鎮不得不小心行事。

「裝配工作什麼時間能完成?」

看到李全等人的進度不是很快,許振鳴認為站在這里沒啥意思,準備再去隔壁車間巡視一下。臨走之前,他向胡明鎮要了一份這台光刻機裝配和調試的工程進度表。

「許董,如果一切順利,我們會在元月28日左右開始試生產,並且用這台光刻機來流片。」胡明鎮比較忙,跟許振鳴說了幾句,又開始投入工作。

許振鳴見此,拿著一摞用A4紙打印的資料,一邊翻看著一邊朝隔壁的車間走去。

「三天內完成設備組裝和安裝,五天內調試好這台設備,第九天以後開始做試生產的準備…嗯,這個計劃還算可以。」

許振鳴一邊走路一邊頷首點頭,認為胡明鎮的工作做得不錯,準備很充分。

不多久,他來到4號鋼構廠房的另外一個光刻室。

這間光刻室是用來安裝國產光刻機的生產車間。

車間里此時也非常忙碌,萬寧古、何昌林和郝寧等人也正在裝配第三代光刻機。

他們這邊的進度好像要快了許多,激光光路系統的部件已經組裝完成,光刻機的主體系統也已經組裝好。萬古寧等人正在召開現場討論會,好像要準備進行光刻機的總裝工序。

看到這種情況,許振鳴倒是不理解,「老萬,你們這邊的進度為啥要快一些?」

「許董,這台光刻機的主要部件我們都已經準備好,就等著總裝和調試。」萬寧古告訴許振鳴這台光刻機的激光光路系統是進口貨,其實根本不要檢驗其性能。最關鍵的事情就看光刻機總裝以後的效果。

「光刻機的精度主要是受主體系統、底座、橫移、減震等子系統的影響。萬一這台設備的主體機械系統精度不夠,我們的項目還是沒成功。」

說到最後,萬寧古的眉毛全都皺了起來。他對這台光刻機主體系統的精度很擔心,心里沒有十足的把握。

听到這話,許振鳴的心情也好不起來。「你們需要多長時間來準備?」念及此,許振鳴想要知道萬寧古等人的總裝和調試計劃。

「三天左右吧。」何昌林掃了一眼現場的情況,緩緩說道。

「三天恐怕不行,最少要五天時間。」

「最多五天時間,許董。五天以後,我們就能做流片試驗了。」

萬寧古和郝寧等人的意見還不統一,一個說要三天多,一個說要五天時間。

看到這種情況,許振鳴微微點了點頭,「好,五天以後我再看你們的成果。」說完這些,他也沒心思在這里等待著,拿著一摞報表資料就離開了4號鋼構大廠房。

五天後的上午九點左右,許振鳴再一次的來到這間光刻室,想要了解萬寧古等人的項目進度情況。

這時候,車間里已經整理干淨,一台組裝好的光刻機矗立在車間的正中央。

這台光刻機就是萬寧古等人的勞動成果,主體系統全是一鳴集團公司自己制造的,激光光路系統是從此米國佬光刻上拆下來的樣品。

「準備開機,先啟動冷卻循環水交換器系統。」」萬寧古此時拿著對講機,給手下的團隊成員們下達命令。

看到許振鳴走來,他嘴角含笑的告訴許振鳴,「許董,這台國產光刻機我們已經完成初步調試,到目前為止還沒有發現問題。」

萬寧古告訴許振鳴,一天以前他們就已經完成光刻機的總裝,第一次初步調試發現有問題,國產激光光源系統的散熱有缺陷會影響第第三代光刻機的性能。

「所以,我們臨時增加一個循環水的冷卻系統來給這台光刻機降降溫。」萬寧古笑了笑。

許振鳴不了解這些技術細節問題,只是對這台光刻機的成功時間節點感興趣。「你們現在準備干嗎?馬上要調試了麼,嗎」他側臉朝萬寧古等人看了一眼。

「許董,我們現在就是在測試這台光刻機。」

「還有一個小時,我們就能做流片模擬實驗了。」

何昌林等人給出許振鳴明確的答復。由此看來,他們已經對這台國第三代光刻機進行過初步調試和試生產,否則沒有這麼大的底氣。

听到這話,許振鳴的心情倒是好了許多。他靜靜的的站在那里,目光落在萬寧古等人的身上。

「報告萬總,循環水冷卻系統已經啟動完畢。」

「萬總,空氣淨化抽煙系統已經啟動好,我們隨時能開始做光刻模擬實驗。」

「萬總,咱們現在就開始麼?」

不多久,萬寧國手下的工程師已經完成工作,紛紛走來把自己負責檢查的結果匯報一遍。事實上,不用他們匯報情況,萬寧古其實也已經知道這台設備的數據結果。

此時此刻,這台光刻機的主工作站,顯示器上正顯示著各項數據。這些數據就是光刻機各個部件的實時數據。比如說,光刻車間里的溫度、濕度、車間里的灰塵顆粒物的大小等。

但萬寧古卻沒有按照光刻機工作站的屏幕,顯示的數據來作為判斷。他還是安排人員,去一項數據一賢數據的排查,核對實時數據。

經過一番比對,萬寧古再次看了看手中的數據表格文件,發現一切數據都正常。他隨後朝下的團隊成員猛然一揮手,「開始!咱們立即開始做光刻模擬實驗。」

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